Гексафторид серы (SF6) это неорганический, не имеющий цвета, запаха, негорючий, чрезвычайно мощный парниковый газ, который является отличным электрическим изолятором.
Промышленное использование
- В производстве полупроводников гексафторид серы является источником фтора для плазменного травления высокой плотности без образования побочных продуктов углерода. Его можно использовать для травления силицидов металлов (особенно травления вольфрама), нитридов и оксидов по сравнению с их металлическими подложками.
- Гексафторид серы - это изоляционный материал, используемый в качестве диэлектрика в электрических трансформаторах.
- Его можно использовать как инертный покрывающий агент и как индикаторный газ для определения интенсивности вентиляции и движения воздуха в зданиях.
Физические и химические свойства:
Баллоны